現(xiàn)如今生活離不開(kāi)電子產(chǎn)品,我們常用的智能手機(jī),平板電腦,用手指輕輕劃就能出現(xiàn)各種不同的界面,這就是電子設(shè)備屏幕上種透明導(dǎo)電薄膜的功勞,而濺射靶材就用于生產(chǎn)這種透明導(dǎo)電薄膜中,那么什么是濺射靶材呢?濺射靶材是什么材質(zhì)?下面就跟著巨偉鈦業(yè)一起來(lái)了解下吧。
一、什么是濺射靶材?
濺射靶材是真空磁控濺射(PVD)鍍膜所需的關(guān)鍵耗材。
濺射靶材的要求較傳統(tǒng)材料行業(yè)高,般要求如:尺寸、平整度、純度、各項(xiàng)雜質(zhì)含量、密度、N/O/C/S、晶粒尺寸與缺陷控制;較高要求或殊要求包含:表面粗糙度、電阻值、晶粒尺寸均勻性、成份與組織均勻性、異物(氧化物)含量與尺寸、導(dǎo)磁率、超高密度與超細(xì)晶粒等等。磁控濺射鍍膜是種新型的物理氣相鍍膜方式,就是用電子槍系統(tǒng)把電子發(fā)射并聚焦在被鍍的材料上,使其被濺射出來(lái)的原子遵循動(dòng)量轉(zhuǎn)換原理以較高的動(dòng)能脫離材料飛向基片淀積成膜。這種被鍍的材料就叫濺射靶材。
二、濺射靶材材質(zhì)分類(lèi)
濺射靶材材質(zhì)分類(lèi)有三種分別是金屬靶材、陶瓷靶材、合金靶材。
1、金屬靶材
鎳靶、Ni、鈦靶、Ti、鋅靶、Zn、鉻靶、Cr、鎂靶、Mg、鈮靶、Nb、錫靶、Sn、鋁靶、Al、銦靶、In、鐵靶、Fe、鋯鋁靶、ZrAl、鈦鋁靶、TiAl、鋯靶、Zr、鋁硅靶、AlSi、硅靶、Si、銅靶Cu、鉭靶T、a、鍺靶、Ge、銀靶、Ag、鈷靶、Co、金靶、Au、釓靶、Gd、鑭靶、La、釔靶、Y、鈰靶、Ce、鎢靶、w、不銹鋼靶、鎳鉻靶、NiCr、鉿靶、Hf、鉬靶、Mo、鐵鎳靶、FeNi、鎢靶、W等。
2、陶瓷靶材
ITO靶、氧化鎂靶、氧化鐵靶、氮化硅靶、碳化硅靶、氮化鈦靶、氧化鉻靶、氧化鋅靶、硫化鋅靶、二氧化硅靶、氧化硅靶、氧化鈰靶、二氧化鋯靶、五氧化二鈮靶、二氧化鈦靶、二氧化鋯靶,、二氧化鉿靶,二硼化鈦靶,二硼化鋯靶,三氧化鎢靶,三氧化二鋁靶五氧化二鉭,五氧化二鈮靶、氟化鎂靶、氟化釔靶、硒化鋅靶、氮化鋁靶,氮化硅靶,氮化硼靶,氮化鈦靶,碳化硅靶,鈮酸鋰靶、鈦酸鐠靶、鈦酸鋇靶、鈦酸鑭靶、氧化鎳靶、濺射靶材等。
3、合金靶材
鐵鈷靶FeCo、鋁硅靶AlSi、鈦硅靶TiSi、鉻硅靶CrSi、鋅鋁靶ZnAl、鈦鋅靶材TiZn、鈦鋁靶TiAl、鈦鋯靶TiZr、鈦硅靶TiSi、鈦鎳靶TiNi、鎳鉻靶NiCr、鎳鋁靶NiAl、鎳釩靶NiV、鎳鐵靶NiFe等。
三、濺射靶材應(yīng)用領(lǐng)域
濺射靶材主要應(yīng)用于電子及信息產(chǎn)業(yè),如集成電路、信息存儲(chǔ)、液晶顯示屏、激光存儲(chǔ)器、電子控制器件等;亦可應(yīng)用于玻璃鍍膜域;還可以應(yīng)用于耐磨材料、高溫耐蝕、裝飾用品等行業(yè)。如今市場(chǎng)電子產(chǎn)品需求量大,濺射靶材的市場(chǎng)規(guī)模也日益擴(kuò)大。寶雞市巨偉鈦業(yè)材料有限公司是一家研發(fā)生產(chǎn)鈦靶、鉻靶、鋯靶、鎳靶、鈦鋁靶、鈦絲、鈦加工件、鈦鍛件等金屬材料為主的高新技術(shù)企業(yè),十余年專(zhuān)注于濺射靶材、鍍膜靶材、平面多弧靶材研發(fā)、生產(chǎn),靶材組織結(jié)構(gòu)均勻、濺射成膜性能優(yōu)異,如果您對(duì)靶材有疑問(wèn)或需要,歡迎聯(lián)系巨偉鈦業(yè)。
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